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當(dāng)前位置：湖南中崎科技有限公司>>儀器儀表>>SIMCO思美高>> Model 5635日本SIMCO思美高負(fù)離子器

日本SIMCO思美高負(fù)離子器

參   考   價: ￥ 14400

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Model 5635

品       牌SIMCO

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長沙市

更新時間：2024-12-03 13:13:26瀏覽次數(shù)：537次

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供貨周期 現(xiàn)貨
日本SIMCO思美高負(fù)離子器
具有廣泛可調(diào)性和ISO 14644-12電離的調(diào)制脈沖技術(shù)

日本SIMCO思美高負(fù)離子器


Simco-Ion 的 AeroBar 5635 調(diào)制脈沖電離棒專為消除半導(dǎo)體和其他需要快速放電時間、低擺幅電壓和精密平衡的超潔凈制造工藝中的靜電荷而設(shè)計。5635 型采用 MP 技術(shù)，將高頻正弦波與調(diào)制脈沖 （MP） 相結(jié)合，以實現(xiàn)高離子輸出和傳輸。這項突破性技術(shù)使 AeroBar 能夠安裝在晶圓 150 mm 以內(nèi)。MP 技術(shù)與超潔凈硅發(fā)射點(diǎn)和精密調(diào)節(jié)相結(jié)合，可提供 ISO 14644-12 電離（0.01 μm 顆?；蚣{米顆粒）和 ISO 14644 1 級（0.1 μm 顆粒）清潔度，這對于較小的技術(shù)節(jié)點(diǎn)至關(guān)重要。

  • 擴(kuò)展 ISO 1 級 （10 nm） 顆粒 清潔

  • 調(diào)制脈沖技術(shù)

  • 出色的橫向均勻性

  • 低場電壓

  • 空氣輔助功能

  • 可選軟件，界面易于使用，可調(diào)節(jié)性廣

  • 報警輸出信號

日本SIMCO思美高負(fù)離子器

規(guī)格

電壓輸入：24 VDC ±10% 功率輸入 RJ-45;0.7A（最大值）
輸出：13.5 kV p-p（最大值），可調(diào)
放電15 秒內(nèi) ±1000-100V（典型值），無空氣輔助，發(fā)射極中心點(diǎn)組下方 24“ 處 Vp-p 擺動為 80
平衡<±35V 在受控環(huán)境中以 18“ 距離測量
離子發(fā)射調(diào)制脈沖 （MP） 技術(shù)
發(fā)射ISO 14644-1 1 類單晶硅
潔凈室類ISO 14644-1（0.1 μm 顆粒）和擴(kuò)展的 ISO 1 級清潔度（10 nm 顆?；蚣{米顆粒），使用 45-50% 輸出電壓設(shè)置和帶有單晶硅發(fā)射器的 OpenJet 噴嘴
尺寸3.1 英寸（高）x 1.3 英寸（寬）x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸長（7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米）


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