冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測(cè)量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長(zhǎng)短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。
創(chuàng)新點(diǎn)：
1、支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測(cè)量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長(zhǎng)短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動(dòng)獲取各種大量數(shù)據(jù)會(huì)大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EMFlow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)，這對(duì)于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)開發(fā)起到重要作用。
2、增加獲取信息的種類與數(shù)量通過SEM能夠收集到多種信號(hào)，且此系列產(chǎn)品可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測(cè)器的信號(hào)。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息。此外，為一次性獲取大量信息，像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x30,720（選配），是之前型號(hào)的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評(píng)估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu)。
3、增強(qiáng)信號(hào)檢測(cè)能力，SU8600開發(fā)了多個(gè)新型選配檢測(cè)器，加強(qiáng)了對(duì)凹凸信息、發(fā)光信息的檢測(cè)能力。此外，還提高了背散射電子信號(hào)檢測(cè)的響應(yīng)速度。
