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MC-7000C琳得科LINTEC 高速響應質(zhì)量控制器 流量計
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 節(jié)流式
價格區(qū)間 3萬-5萬 介質(zhì)分類 氣體
應用領(lǐng)域 綜合
琳得科LINTEC 高速響應質(zhì)量控制器 流量計 MC-7000C
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應 ,并提供報價圖片
產(chǎn)品介紹

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池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關(guān)系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。

池田屋主要經(jīng)營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術(shù)團隊、*的管理團隊,通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù),

服務于電子消費類、半導體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。



 

高速響應質(zhì)量流量控制器

響應時間為 200 毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。

熱傳感器實現(xiàn)100毫秒(典型值)的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度高,可達±1.0%SP,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。



使用示例

高速蝕刻工藝

在半導體制造過程中,需要在實現(xiàn)微型化的同時提高產(chǎn)量。對于控制反應氣體流速的質(zhì)量流量控制器而言,縮短流量控制啟動(上升)時間的需求也日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與被測氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器,實現(xiàn)了200毫秒的超高速響應。由于是非接觸式,因此可以對腐蝕性氣體的流量測量進行高速流量控制。


規(guī)格


溫度最小壓差最大壓差準確性控制范圍最小滿量程最大滿量程海豹
5~50℃50千帕300千帕±1%標準差2~100%滿量程5SCCM20秒







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