目錄:寧波舜宇儀器有限公司>>工業(yè)及半導(dǎo)體檢測解決方案>>晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備>> AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)
AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī),兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查
一個(gè)晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)