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PECVD系統(tǒng)爐即等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積爐,是一種基于等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的薄膜沉積設(shè)備,是一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達(dá)到1200℃(1200℃...
CVD系統(tǒng)(高真空)GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)1.包含一款通過CE認(rèn)證的高溫管式爐,2.包含一款GYS-3Z低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng) 3.包...
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