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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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WAFER/DISK ANALYZER 3650玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
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訪問次數(shù)：194更新時(shí)間：2024-09-29 09:38:23
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
用于薄膜評(píng)估的熒光 射線分析儀
對(duì)各種薄膜的膜厚和成分進(jìn)行同步、無損、非接觸分析
產(chǎn)品介紹
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
這是一款波長(zhǎng)色散射線熒光光譜儀（WD-XRF），可同時(shí)無損、非接觸地分析尺寸最大200毫米晶圓上各種薄膜的厚度和成分。 XYθZ驅(qū)動(dòng)方式的樣品臺(tái)能夠準(zhǔn)確分析各種金屬薄膜，同時(shí)避免衍射線的影響。采用4kW高功率射線管，可以高精度分析超輕元素，例如BPSG膜的微量元素測(cè)量和硼分析。還支持 C 到 C 傳送機(jī)器人（可選）。配備Auto Cal（全自動(dòng)日常檢查/強(qiáng)度校正功能）。
晶圓/磁盤分析儀 3650 概述
兼容微量元素濃度和成分分析
兼容從輕元素到重元素的多種元素： 4 Be 到92 U
高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-Boron
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如改進(jìn)硼分析能力，以提高分析精度和穩(wěn)定性。 此外，為了保證穩(wěn)定性，標(biāo)準(zhǔn)配置了恒溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)。
XY-θ驅(qū)動(dòng)臺(tái)
XY-θ 驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓表面上的精確薄膜厚度和成分分布測(cè)量。 鐵電薄膜也不受衍射線的影響。
應(yīng)用
半導(dǎo)體器件 BPSG, SiO 2 , Si 3 N4, ... 摻雜多晶硅(B,P,N,As), Wsix, ... Al-Cu, TiW, TiN, TaN, ... PZT, BST, SBT, ... MRAM，...
金屬膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru，...
磁盤CoCrTa，CoCrPt，...DLC，...NiP，。 ..
磁光盤Tb-FeCo、?
磁頭GMR、TMR、??
豐富的固定測(cè)角儀陣容
我們根據(jù)膜厚度和膜結(jié)構(gòu)提供最佳的固定測(cè)角儀。我們還有一個(gè)專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。
全自動(dòng)設(shè)備日常管理功能AutoCal
為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須正確校準(zhǔn)儀器。為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。這種日常校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。 這就是“AutoCal 功能"。
兼容C to C自動(dòng)傳輸
除了開放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。 另外，可與上位機(jī)進(jìn)行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。
緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小于1平方米。采用無油變壓器，輔助設(shè)備緊湊，節(jié)能設(shè)計(jì)。
