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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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XTRAIA XD-3300玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- XTRAIA XD-3300 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：178更新時間：2024-09-29 09:45:08
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產(chǎn)品簡介
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
在線 HRXRD/XRR 測量工具
產(chǎn)品介紹
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
毯式晶圓和圖案晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征
XTRAIA XD-3300 是一款多功能 射線計量工具，可在大批量生產(chǎn)中以高通量對毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進行無損分析。
測量結果包括通過 射線反射率 (XRR) 測量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測量的外延膜厚度、成分、應變、晶格弛豫和結晶度。
XTRAIA XD-3300 概述
它支持多種應用，包括在線 XRD/XRR 多層堆疊、金屬薄膜、壓電薄膜、SiGe 和化合物半導體薄膜的厚度和成分分析。您可以根據(jù)您的應用選擇最佳的設備配置。
XRD 和 XRR 分析有可能通過內聯(lián)實現(xiàn)自動化。
XTRAIA XD-3300 特點
用于高效處理的內聯(lián)功能
用于靈活樣品定位的載物臺和測角儀
利用光束尺寸高達 40 μm 的高分辨率 X 射線束
全自動化功能，實現(xiàn)高效運營
兼容 200 毫米和 300 毫米晶圓
配備2D探測器，精確采集數(shù)據(jù)
通過*的分析軟件支持全面的數(shù)據(jù)解釋
XTRAIA XD-3300 規(guī)格
| 方法 | 高分辨率X射線衍射（HRXRD）、射線反射率（XRR） | |
|---|---|---|
| 目的 | 用于毯狀/圖案外延薄膜的 雙光束（線和 40μm 微點） 圖案識別 | |
| X射線源 | 1：9 kW 銅旋轉陽極陰極或 2.2 kW 銅封裝管 2：COLORS™ 混合銅梁模塊，用于測量圖案化晶圓 | |
| 主要部件 | 整體和圖案晶圓測量 射線光學器件：最多 2 個單色儀 Ge(400) x 2、Ge(220) x 2、Ge(220) x 4 射線探測器：2D (HyPix-3000) 微光斑尺寸、圖案識別、高強度、chi軸 高精度測角儀 | |
| 特征 | 具有高強度旋轉反陰極和微點束的 COLORS™ 混合銅束模塊 | |
| 選項 | 單色儀、各種光學組件 GEM300 軟件、E84/OHT 支持 | |
| 機身尺寸 | 1656（寬）×3689（深）×2289（高）毫米 | |
| 測量結果 | HRXRD、XRR、搖擺曲線和倒晶格圖 (RSM) | |
