聯(lián)系電話
玉崎科學儀器（深圳）有限公司
中級會員·2年
Luminous NA-8000日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- Luminous NA-8000 產品型號
- 其他品牌 品牌
- 代理商 廠商性質
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：221更新時間：2024-11-25 14:16:10
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
- 聯(lián)系人：
- 吳小姐
- 電話：
- 192-7009-5986
- 手機：
- 19270095986
- 售后：
- 19270095986
- 傳真：
- 86-0755-26703456
- 地址：
- 龍華街道龍華大道906號電商集團7層
- 個性化：
- www.tamasakisci.cn
- 網(wǎng)址：
- www.tamasakisci.cn
掃一掃訪問手機商鋪
產品介紹
日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
灰化裝置LuminousNA系列
Luminous NA 系列是一款不受晶圓尺寸限制的灰化系統(tǒng)，可以處理從關鍵的下一代晶圓工藝到晶圓級安裝工藝的各種工藝。
特征
可以執(zhí)行關鍵的下一代晶圓工藝所需的1×10 16原子/cm 2或更高的無損傷離子注入剝離工藝和聚合物去除工藝。
腔室配置適合氟基氣體添加工藝，使其無顆粒。因此，可以構建從普通PR到離子注入剝離、有機膜剝離（PI、DFR等）剝離、氧化膜蝕刻等廣泛的工藝。
采用簡單的設備配置，同時實現(xiàn)了“出色的可維護性和可靠性"和“低成本"。
可以實現(xiàn)靈活的腔室配置（μwave、RIE、μwave + RIE），并且可以選擇多種傳輸路線。
晶圓尺寸只需通過配方設置即可更改，因此更改晶圓尺寸非常容易。
目的
離子注入剝離工藝（1 x 10 16原子/cm 2或更多）和前端工藝中的聚合物去除
需要CF4添加工藝的晶圓工藝（電子元件/LED）
芯片尺寸封裝和BUMP工藝
CCD彩色濾光片制造工藝
規(guī)格
| 模型 | 兼容晶圓尺寸 |
| Luminous NA-8000 | 100毫米、125毫米、150毫米和200毫米 |
| Luminous NA-1300 | 200毫米和300毫米 |
