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MC-5460LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25120 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MC-5460L 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：56更新時間：2025-03-27 15:51:34
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。
核心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設(shè)計，溫度分辨率達0.01℃
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對、計算出流體的正確流量。
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機惰性氣體保護（露點控制<-70℃）
無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級潔凈度）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
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