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參考價: | ¥ 9600 |
訂貨量: | 1件 |
- EV-S20 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):10更新時間:2025-03-21 15:33:32
泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比,因此在半導體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應用。
工作原理
干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體,無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機械結(jié)構(gòu)的運動,將氣體從進氣口吸入并壓縮,最終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。
應用領域
半導體制造:在半導體生產(chǎn)過程中,干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝,確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè):用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié),避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。
食品加工:在食品包裝和脫氣過程中,干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
科研領域:用于實驗室的高真空實驗,提供無污染的真空環(huán)境。
技術(shù)發(fā)展趨勢
隨著工業(yè)技術(shù)的進步,干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如,采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗,通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)遠程控制和故障診斷。此外,新材料的應用也進一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。