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EMT397MEBARA荏原 渦輪分子泵
| 參考價: | ￥ 9770 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EMT397M 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：12更新時間：2025-03-21 16:13:07
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進氣口推向排氣口，從而實現(xiàn)高真空的獲取。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT397M
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT397M
渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進氣口推向排氣口，從而實現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學家貝克（W. Becker）于1958年發(fā)明，是現(xiàn)代高真空和超高真空技術中的核心設備之一。渦輪分子泵通常與前置泵（如干式泵或旋片泵）結(jié)合使用，以在寬壓力范圍內(nèi)實現(xiàn)高效抽氣。
特點
高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速通常高達每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)，甚至超過10萬轉(zhuǎn)，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。
無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應用。
寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內(nèi)高效工作，與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到超高真空的抽氣。
高抽氣速度：渦輪分子泵對輕質(zhì)氣體（如氫氣、氦氣）和中質(zhì)氣體（如氮氣、氧氣）具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持高真空環(huán)境。
結(jié)構精密：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片采用精密加工技術，確保高速運轉(zhuǎn)時的穩(wěn)定性和可靠性。
低振動和低噪音：現(xiàn)代渦輪分子泵采用先進的動平衡技術和減振設計，運行時振動和噪音極低
應用領域
半導體制造：在半導體生產(chǎn)過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。
科學研究：在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學等領域，渦輪分子泵用于實現(xiàn)超高真空環(huán)境。
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