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LINTEC琳得科 加熱器 HX-0050A
LINTEC琳得科 加熱器 HX-0050A
加熱器是將電能、燃氣能或其他能源轉化為熱能的裝置,廣泛應用于工業(yè)制造、家用電器、醫(yī)療設備等領域?,F(xiàn)代加熱器采用智能溫控和高效熱傳導技術,熱效率可達95%以上,是能源轉換的核心設備之一。
液化氣體通常用于ALD(原子層沉積)和CVD(化學氣相沉積)等真空沉積工藝,但用室溫氣體吹掃會發(fā)生冷卻、冷凝的現(xiàn)象,從而使吹掃效果大打折扣。熱吹掃則有效解決了這一問題。小型氣體加熱器HX-0020系列的的空間面積與MFC所差無幾,且最高加熱溫度為200℃,可對使用端(POU)附近的氣體進行加熱,因此成為了ALD和CVD等真空沉積設備熱吹掃工藝的理想選擇。
流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接氣體部分材質 | |
規(guī)格 | 50SLM | 9.8kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不銹鋼 |
四、應用領域
工業(yè)制造
注塑機加熱(±1℃溫控)
半導體擴散爐(1500℃恒溫)
食品烘干線(濕度聯(lián)動控制)
民用領域
即熱式熱水器(3秒出熱水)
智能電地暖(分區(qū)控溫)
廚房電器(無明火加熱)
特殊應用
醫(yī)療消毒設備(134℃蒸汽滅菌)
航空航天材料測試(-70~300℃快速變溫)
新能源電池預熱(低溫環(huán)境-40℃啟動)