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MC-7100CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25150 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MC-7100C 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：79更新時間：2025-03-28 10:52:12
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。
型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機惰性氣體保護（露點控制<-70℃）
無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級潔凈度）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實驗（溫濕度聯(lián)動控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
關鍵性能指標
參數(shù)標準型號高性能型號
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復性±0.2% FS±0.1% FS
響應時間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
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