全自動(dòng)磁控離子濺射儀是一款注重安全與用戶體驗(yàn)的多功能濺射儀，具有多重安全防護(hù)措施及自動(dòng)切斷功能，確保操作安全。配備5英寸液晶顯示屏，簡化操作流程，支持自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度與樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)，提供直觀的濺射電流和真空度曲線顯示，記錄靶材使用時(shí)間及設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。內(nèi)置操作向?qū)?，便于新手快速上手，適用于各類樣品，特別是溫度敏感材料，能實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量鍍膜，滿足高分辨率觀測需求。

全自動(dòng)磁控離子濺射儀特點(diǎn)

一、安全至上
高壓線多重防護(hù)；

外殼良好接地；

真空互鎖;

系統(tǒng)自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射；

實(shí)體按鍵，很安全。

二、注重用戶體驗(yàn)
5英寸液晶屏，簡潔明了;
可多設(shè)置兩個(gè)參數(shù)，即可開始工作；
系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度，無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動(dòng)放氣；樣品臺(tái)高度可調(diào)節(jié)。

三、信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示，簡單直觀；
靶材使用時(shí)間，儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)；

四、快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時(shí)，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備；

五、應(yīng)用領(lǐng)域廣
濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷，因此適用于所有樣品，尤其是溫度敏感性樣品如生物、聚合物等樣品；工作時(shí)真空度好，鍍膜的顆粒度更小，更適用場發(fā)射等高分辨觀測電極制備。