磁控離子濺射儀是一款注重安全與用戶體驗(yàn)的多功能濺射儀，具有多重安全防護(hù)措施及自動(dòng)切斷功能，確保操作安全。配備5英寸液晶顯示屏，簡(jiǎn)化操作流程，支持自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度與樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)，提供直觀的濺射電流和真空度曲線顯示，記錄靶材使用時(shí)間及設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。內(nèi)置操作向?qū)?，便于新手快速上手，適用于各類(lèi)樣品，特別是溫度敏感材料，能實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量鍍膜，滿足高分辨率觀測(cè)需求。

　　磁控離子濺射儀的特點(diǎn)：

　　一、安全至上

　　高壓線多重防護(hù)；

　　外殼良好接地；

　　真空互鎖；

　　系統(tǒng)自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射；

　　實(shí)體按鍵，很安全。

　　二、注重用戶體驗(yàn)

　　5英寸液晶屏，簡(jiǎn)潔明了；

　　可多設(shè)置兩個(gè)參數(shù)，即可開(kāi)始工作；

　　系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度，無(wú)需人工調(diào)節(jié)針閥；

　　自動(dòng)放氣；樣品臺(tái)高度可調(diào)節(jié)。

　　三、信息量大

　　濺射過(guò)程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示，簡(jiǎn)單直觀；

　　靶材使用時(shí)間，儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)；

　　四、快速上手

　　設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時(shí)，無(wú)需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備；

　　五、應(yīng)用領(lǐng)域廣：

　　濺射電流與壓力無(wú)關(guān)、基本沒(méi)有熱損傷，因此適用于所有樣品，尤其是溫度敏感性樣品如生物、聚合物等樣品；工作時(shí)真空度好，鍍膜的顆粒度更小，更適用場(chǎng)發(fā)射等高分辨觀測(cè)電極制備。