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當(dāng)前位置：杭州太昊科技有限公司>>INFICON殘余氣體分析儀>>殘余氣體分析儀>> Transpector CPM RGATranspector® CPM 3殘余氣體分析儀
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)Transpector CPM RGA
品 牌INFICON/美國(guó)
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地杭州市
更新時(shí)間：2024-01-24 15:50:22瀏覽次數(shù)：1616次
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
INFICON Transpector CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)?，F(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監(jiān)控器。
Transpector CPM 3 通過以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實(shí)踐證實(shí)的投資回報(bào)率：業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量技術(shù)，穩(wěn)健的適應(yīng)性架構(gòu)，易于維護(hù)，出色的產(chǎn)品支持
ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)過程監(jiān)測(cè)和分析
ALD 就緒，測(cè)量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 高 級(jí)應(yīng)用專家提供支持，是一款強(qiáng)大的過程監(jiān)測(cè)與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock™ 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以zui小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測(cè)過程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配
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