多功能透射電鏡測試標樣（碳粒金網(wǎng)）（Combined Test Specimen）

多功能透射電鏡測試標樣（碳粒金網(wǎng)）：多孔碳薄膜覆蓋在鍍金的網(wǎng)上（直徑3.05mm），石墨化的碳顆粒沉積其上。通過微孔可觀察到碳顆粒的晶面間距。還可以通過標注鍍金膜上孔內(nèi)碳的沉積率來測定電鏡的污染率。樣品在3.05mm，200目銅網(wǎng)上。

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    在透射電鏡觀察的過程中，樣品污染一直是一個影響高分辨成像質(zhì)量的重要原因之一，尤其STEM越來越被廣泛的應用，由于束斑要比TEM小的多，所以它的污染速率要更快，不管你是BF還是HAADF有時辛辛苦苦的找到一塊好的區(qū)域，但掃一幅圖下來就慘不忍睹了。試樣的污染主要是由于鏡筒內(nèi)殘留的碳氫化合物，以及吸附在樣品表面的有機物，當電子束照射某一區(qū)域時，向其聚集所致。如何有效地加以改善哪？

一， 首先是要改善樣品室的真空衛(wèi)生。

1， 達到盡可能高的真空度，一般使用要優(yōu)于2x10-5Pa（使用SIP和TMP的）。

2， 不要用手去接觸放入真空中樣品桿的前端部分，即橡皮圈之前。

3， 樣品桿長期在大氣中暴露，尤其是在雨季或潮濕地區(qū)，吸附在上面的有機物很難在短時間內(nèi)被抽走，這樣放入樣品室后就會在一定程度上破壞真空度。有條件的話配備一個樣品桿預抽機，不使用的樣品桿可以先放在這里預抽保持干燥，同時有的樣品桿預抽機還帶有烘烤功能，這樣更有利于污染物的揮發(fā)，像JEOL的 JDS-230F （GATAN的帶嗎？我沒用過）。沒有的話，在把樣品取出后再將樣品桿放回到樣品室保持在真空狀態(tài)。

4， 對于使用DP作為樣品室預抽的不要超過10分鐘，太長油蒸汽多少會污染一些樣品。

5， 樣品桿放入后不要馬上將燈絲或電子槍隔離閥打開，因為在插入的過程中多少會人為的造成一點泄漏，即使看著真空度很好，再等待1~2分鐘，等真空穩(wěn)定后再觀察。

6， 使用ACD抗污染裝置，每天早上的*件事就應該將液氮加上，它不僅有利于樣品室的真空衛(wèi)生，而且對SIP的壽命也是有好處的。它的有效工作時間是7~8小時，所以在中午吃飯前為了確保下午工作不受影響，應該將ACD再補充滿液氮。當然別忘了，下班前的zui后一件事就是要將加熱棒放入ACD將剩余的液氮考出來，切記?。?！

7， 1~3個月要將鏡筒烘烤一次，一般在周末BAKE 60小時左右。

二， 使用PLASMA CLEANERZ(等離子清洗機)對樣品進行處理。它是通過活性等離子對樣品進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面的有機物及氧化層物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，而達到清洗目的。另外它也可以作為樣品預抽機使。

三， BEAM SHOWER（樣品沐浴）-zui為經(jīng)濟有效的防污染方法。*次用這個方法做HAADF，我真是驚異于它的功效，千萬別小瞧它。它的原理就是通過強光照射樣品后，可把有機物暫時固定在樣品表面，在做象CBD和STEM這樣小束斑的工作時它們就不會往束斑下聚集了，從而減小了污染率。