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  • NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)

    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng):是一款手動放片/取片,但工藝過程為全自動計算機控制的臺式離子束刻蝕系統(tǒng),可以用于表面清洗、表面處理、離子銑等。

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  • LSC-5000全自動兆聲大基片濕法去膠系統(tǒng)

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  • LSC-4000兆聲大基片濕法去膠清洗系統(tǒng)

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  • SWC-5000全自動兆聲晶圓清洗機

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  • SWC-3000兆聲輔助光刻膠剝離系統(tǒng)

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  • SWC-4000兆聲輔助光刻膠剝離系統(tǒng)

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