光學(xué)鍍膜系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù)，在一個腔體中實(shí)現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計也可以支持其中任一個腔體的單獨(dú)使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)應(yīng)用

• 光學(xué)涂層
• 濺射
• 離子束輔助沉積
• 離子束刻蝕清洗
• 離子束輔助反應(yīng)刻蝕
• 紅外涂層
• 表面處理

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

• 射頻偏壓樣品臺
• 膜厚監(jiān)測儀
• 極限真空5x10-7Torr
• 高精度及高重復(fù)性
• 高品質(zhì)膜層
• 原子級的潔凈表面
• 原子級清洗和拋光
• 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計算機(jī)全自動控制
• 自動上下載片
• 兩個腔體之間自動傳送
• 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護(hù)
• 完整的安全聯(lián)鎖
• 占地面積46”D x 44”W

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)選配項(xiàng):

• 向下/向上濺射
• 共濺射
• DC，RF以及脈沖電源
• 離子束輔助沉積
• 電子束源
• 等離子源