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北京亞科晨旭科技有限公司
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當(dāng)前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>表征檢測>>探針輪廓儀(臺(tái)階儀)>> DektakXTBruker 探針式表面輪廓儀臺(tái)階儀

Bruker 探針式表面輪廓儀臺(tái)階儀

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產(chǎn)品型號(hào)DektakXT

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2024-09-25 11:40:12瀏覽次數(shù):4148次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 20萬-30萬
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,冶金,電氣
臺(tái)階高度重復(fù)性優(yōu)于5埃(<5 Å)
?單拱龍門式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性
?良好的"智能化電子器件"實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新標(biāo)桿
操作簡便,高效易用
?直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程
?*的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和較大的力測量
?自對(duì)準(zhǔn)的探針設(shè)計(jì)使用戶可以輕而易舉地更換探針

Bruker  探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)DektakXT

(一)、概述

布魯克DektakXT (探針式表面輪廓儀)設(shè)計(jì)創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率,垂直高度重復(fù)性<5Å。這一里程碑式的產(chǎn)品源自于Dektak系列占據(jù)業(yè)界ling xian地位長達(dá)四十年的優(yōu)異表面測量技術(shù)。實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量,在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域大顯身手。
臺(tái)階高度重復(fù)性優(yōu)于5埃(<5 Å

  • 單拱龍門式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性
  • 良好的”智能化電子器件”實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新標(biāo)桿

操作簡便,高效易用

  • 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程
  • *的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和較大的力測量
  • 自對(duì)準(zhǔn)的探針設(shè)計(jì)使用戶可以輕而易舉地更換探針

探針式輪廓儀的全球ling 導(dǎo) zhe

  • 性能zhuo yue,物超所值
  • 完備的零配件為您優(yōu)化或延伸機(jī)臺(tái)的多種應(yīng)用提供保障


(二)、歷史:技術(shù)創(chuàng)新四十余年

過去四十年間,世界范圍內(nèi)有上萬臺(tái)Dektak系列產(chǎn)品應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,廣泛用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和面形的測量。它們以優(yōu)質(zhì)、可靠、高效等特性廣受贊譽(yù)。

 

(三)、性能:設(shè)計(jì)完美、性能卓著

臺(tái)階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個(gè)方面:測試重復(fù)性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。DektakXT采用全新的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和  優(yōu)化的測量以及數(shù)據(jù)處理軟件來實(shí)現(xiàn)可靠、快速和簡單的樣品檢測,達(dá)到  佳的儀器使用效果。

優(yōu)異的測試重復(fù)性

  • DektakXT™探針輪廓儀ling xian的設(shè)計(jì)保證了其優(yōu)異的性能,測量重復(fù)性達(dá)到5埃以下。
  • 使用單拱龍門式設(shè)計(jì)比之前的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)固持久不易損壞,大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪聲對(duì)測試信號(hào)的影響。
  • 布魯克完善了儀器的智能化電子器件,提高了工作性能的穩(wěn)定性,降低了溫度變化對(duì)器件的影響;系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降低到  小。

 

單拱門設(shè)計(jì)和智能化器件聯(lián)用, *的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)

降低基座噪音,提高測試性能 可以實(shí)現(xiàn)超微力和正常測試

快捷的測試&數(shù)據(jù)分析速度

  • 初次采用*高速的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái),在不犧牲分辨率和基底噪聲水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時(shí)間。從而在保證掃描質(zhì)量和重復(fù)性的前提下,將數(shù)據(jù)采集處理速度提高了40%。
  • 采用具有64位數(shù)據(jù)并行處理的軟件Vision64,提高了大范圍3D形貌圖的處理速度。
  • Vision64具備有效直觀的用戶界面,簡化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置,可以自動(dòng)完成多掃描模式,使枯燥、繁雜的實(shí)驗(yàn)工作變得快速簡潔。

  

采用64位數(shù)據(jù)采集及同步分析軟件Vision64      
具備迅速便捷的換針方案,提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 提供各種規(guī)格針尖

簡便易行的操作系統(tǒng)

  • 新穎的探針和部件自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置,避免了探針損傷。提高操作的簡便性。
  • 提供各種標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針。

完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

  • Vision64 軟件提供了實(shí)用簡潔的用戶界面,可視化使用流程,及各種參數(shù)自助設(shè)定等。
  • 各種數(shù)據(jù)分析功能的操作簡便、快捷,使用者可以快速高效地進(jìn)行分析。

 

具備良好的3D形貌圖像掃描和分析模式

 (四)、應(yīng)用

布魯克探針式表面輪廓儀歷經(jīng)四十載,從傳統(tǒng)的二維表面粗糙度和臺(tái)階高度測量,到更高級(jí)的三維表面成像和薄膜應(yīng)力測試,Dektak臺(tái)階儀適用面極廣,為用戶提供準(zhǔn)確性高,重復(fù)性佳的測量結(jié)果。在教育、科研領(lǐng)域和半導(dǎo)體制程控制領(lǐng)域,Dektak廣泛用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和面形的測量。

薄膜監(jiān)控

  • 通過及時(shí)監(jiān)測薄膜厚度和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應(yīng)力,實(shí)現(xiàn)有效工藝控制,可以提高生產(chǎn)良率,為客戶節(jié)省時(shí)間和費(fèi)用。
  • DektakXT易于設(shè)定、測量快捷,通過不同位置的多點(diǎn)自動(dòng)測量可以跟蹤晶片的薄膜厚度,測量精度可達(dá)納米級(jí)別。
  • DektakXT zhuo yue的測試性能,為工程師提供了準(zhǔn)確的薄膜厚度和應(yīng)力測量,使其可以用來jing zhun調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝,提高產(chǎn)品的良率。

      

  混合電路的DektakXT 3D圖像     可以可靠測量厚度小于10nm的薄膜

 

表面粗糙度測量

  • DektakXT可以快速測量材料的表面粗糙度,可以獲得材料的質(zhì)量信息:比如晶體生產(chǎn)是否滿足要求,或手術(shù)植入體是否可以通過醫(yī)學(xué)審核允許使用。使用軟件中的數(shù)據(jù)庫功能,設(shè)定 合格/淘汰條件,質(zhì)量人員可以輕松確定

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)

  • 市場上wei yi可以測量敏感材料1mm高垂直臺(tái)階的臺(tái)階儀,且測試重復(fù)性在埃米級(jí)別;
  • 為微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)研究提供了可靠的關(guān)鍵尺寸測量手段,確保器件滿足要求;
  • 具有超微力(NLite+)測量功能,可以保證在測量敏感材料時(shí),輕觸材料表面而不破壞樣品表面,得到臺(tái)階高度以及表面粗糙度數(shù)據(jù)。

      

太陽能電池柵線分析

  • 在太陽能領(lǐng)域,DektakXT作為測量單晶硅、對(duì)晶硅電池上主柵、銀線特征尺寸的shou xuan設(shè)備。
  • jing zhun測量柵線的高度、寬度。節(jié)約了貴金屬銀的使用量,同時(shí)保證了電池板的  佳導(dǎo)電性。Version64的數(shù)據(jù)分析方法和自動(dòng)操作能力使這一檢驗(yàn)核實(shí)的過程通過特定設(shè)置后自動(dòng)完成。

    

 


(五)、技術(shù)規(guī)格

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