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當(dāng)前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>化合物半導(dǎo)體-工藝設(shè)備>> KEKO CAM-HKEKO(大型)流延機(jī)CAM-H系列
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)KEKO CAM-H
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2024-09-25 16:19:47瀏覽次數(shù):759次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)SEMSYSCO晶圓電鍍平臺(tái):Galaxy儀器設(shè)備
Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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KEKO(大型)流延機(jī)CAM-H系列
CAM-H系列流延機(jī)
CAM-H型流延機(jī)為KEKO公司面向產(chǎn)品應(yīng)用的流延機(jī)。先進(jìn)的干燥系統(tǒng)設(shè)計(jì)使得該設(shè)備非常適合厚膜產(chǎn)品。安裝有眾多的溫度及空氣流量傳感器用于工藝控制。使用±10um的高精度厚度測量系統(tǒng)對(duì)流延厚度進(jìn)行不間斷監(jiān)測。全自動(dòng)的流延縫隙控制可自動(dòng)進(jìn)行零位校準(zhǔn)操作。流延過程在觸摸屏或外置電腦上顯示。預(yù)設(shè)的菜單系統(tǒng)可迅速啟動(dòng)新的流延操作。
一系列針對(duì)客戶不同需求的選件包括但不僅限于:
瓷帶邊緣切割系統(tǒng)
高達(dá)3個(gè)不同的干燥區(qū)
可達(dá)20米的干燥區(qū)可實(shí)現(xiàn)2米階梯控溫
針對(duì)工藝監(jiān)控的數(shù)據(jù)鏈
可進(jìn)行標(biāo)記的激光膜厚測量系統(tǒng)
漿料過濾桶
設(shè)備特征:
適用于5~500um厚度漿料流延
適用于溶劑型或水基漿料
自動(dòng)跟蹤陶載帶位置
先進(jìn)的干燥系統(tǒng)
高精度及穩(wěn)定的的膜厚控制
漿料緩沖后再進(jìn)給到流延刀
先進(jìn)的帶有微分水平控制的漿料罐
先進(jìn)的高精度流延厚度控制
設(shè)備技術(shù)參數(shù):
流延速度:0.1~6m/min可調(diào)節(jié)
載帶寬度:250mm或450mm或600mm 取決于具體設(shè)備型號(hào)
流延寬度:200mm或380mm或500mm
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