Sekidenko OR400T 外延片測溫儀主要特點

• 采用光纖鏡頭或光導(dǎo)管的實時非接觸紅外測量

• 完整的I / O和外部觸發(fā)/同步套件

• 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成的單通道光纖高溫計

• 提升了低溫測試性能

詳細說明

傳統(tǒng)的熱電偶測量會因傳熱效應(yīng)而導(dǎo)致溫場破壞，進而產(chǎn)生測溫誤差。OR400T 光纖溫度計可在不接觸晶圓的情況下直接測量晶圓溫度，提高晶圓之間的均勻性并提高溫度讀數(shù)的準確性

OR400T光纖溫度計（OFT）提供單通道溫度測量功能，支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口，每秒高達20個讀數(shù)。適用于多種大批量半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用，包括LPCVD，PVD，和金屬蝕刻等。

每個OFT系統(tǒng)均由控制器，光學(xué)傳感器和光纖組成。使用光纜可以使控制器遠離RF和其他EMI源進行遠程定位。傳感器檢測目標（通常是基板）輻射的近紅外（NIR）光線，然后通過光纜將近紅外輻射傳輸?shù)娇刂破鳎刂破鲗⑹占降墓廪D(zhuǎn)換為溫度讀數(shù)。

典型應(yīng)用

• Epi

• PECVD

• LPCVD

• PVD

• MOCVD

技術(shù)參數(shù)

Sekidenko OR400T 外延片測溫儀