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南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>CVD/PECVD/ALD系統(tǒng)>> OTF-1500X-III-4CV三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)

三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) OTF-1500X-III-4CV
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 南京市
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更新時(shí)間:2021-03-09 16:47:43瀏覽次數(shù):333

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子
三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng) OTF-1500X-Ⅲ-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。

詳細(xì)介紹

三溫區(qū)開啟式1500°C管式爐

工作溫度1500℃連續(xù)使用溫度1400℃

個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫區(qū)長度為200mm總溫區(qū)長度為600mm爐管為高純剛玉管

爐管尺寸∶(標(biāo)配)60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶(選配)800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC,單相功率∶ 6.6KW

配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長儀器的使用壽命。

射頻電源

輸出功率∶5-500W±1%

射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%.

反射功率∶ 200W

匹配∶自動(dòng)

射頻接口∶50 Ω,N-type

噪音∶<50 dB.

冷卻∶風(fēng)冷

電源∶AC 208-.240V;5060Hz

 

防腐型真空計(jì)

輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)

測(cè)量范圍 3.8x10-5 1125 Torr.

數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭

產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm(Lx WxH)

真空系統(tǒng)

采用TRP-12的雙旋真空泵,極限真空10E.3 Torr

KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)

四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度15%)∶數(shù)字顯示,自動(dòng)控制. MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口.

4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體進(jìn)氣口∶4個(gè)14NPS.出氣口∶4個(gè) 14NPs.

采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制

溫控系統(tǒng)

三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護(hù)控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻

可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦

外形尺寸

爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動(dòng)柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運(yùn)輸重量∶ 1200lbs

 

質(zhì)保期一年質(zhì)保,終生維護(hù)
質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過UL /MET/CSA認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

 

 

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