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小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 OTF-1200X-50S-PE-S
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 南京市
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更新時間:2021-03-30 08:57:28瀏覽次數(shù):363

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)
小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)(等離子體化學氣相沉積)滑動式開啟式管式爐系統(tǒng)。此套設備?帶有300W的等離子射頻電源,—個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和機械泵組成。因此這套設備模型可以更新為不同的?PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費的情況下來進行材料探索;

詳細介紹

特點與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進行氣相沉積實驗可以通過爐體滑動達到快速升溫和降溫 對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學計量 可以沉積各種材料,如SiOx.SiNx.SiOxNy和(a-SiH) 等
開啟式管式爐

輸入電源∶208-240V AC,功率;1.2kW

工作溫度頂值1200℃,小于60分鐘

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字了解涂層的詳細參數(shù))

連續(xù)工作溫度1100°C

爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L

可設置30段升降溫程序,并且?guī)в羞^熱和斷偶保護功能

加熱區(qū)長度∶200mm 單溫區(qū)

 恒溫區(qū)2.3"(60mm)(+-15℃)@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測里結果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員

等離子體射頻電源

輸出功率:5 .300W 可調(diào) 穩(wěn)定性±1%

射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005%

反向功率頂值∶ 200W

匹配∶ 自動

射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω,N型半導體,陰極

噪音∶ <50 dB.

冷卻∶風冷

電源∶208-240VAC,50/60HZ

真空法蘭和接頭

真空法蘭采用 304不銹鋼制作.

左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口,2個KF-25快速卸裝卡箍,KF-25直角閥,KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥

真空泵及水冷機

 AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W

2Liter /S

出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環(huán)境和人體健康)

真空度∶ 10-2 torr

可選水冷機

產(chǎn)品尺寸和重量

外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm (長x寬x高)

凈重∶160kg

質(zhì)保期年質(zhì)保期,終身維護(相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件)
質(zhì)量認證 CE Certified
使用注意事項:

工作時需連接水冷設備

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由干氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

進入爐管的氣體流量需小于200sCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度< 1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

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