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南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>CVD/PECVD/ALD系統(tǒng)>> OTF-1200X-50-II-P帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) OTF-1200X-50-II-P
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 南京市
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更新時(shí)間:2021-03-09 17:24:34瀏覽次數(shù):499

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油
OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國進(jìn)口的無油泵。此款PE-CVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

與普通CVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫多薄膜損壞可以通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速升溫 和快速障溫的效果

爐體有兩個(gè)溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃管式爐工作溫度為1100℃

帶有預(yù)熱爐,溫度為1100℃,氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區(qū)滑軌爐

 

連續(xù)工作溫度為1100℃

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料)兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū),都可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm總溫區(qū)長(zhǎng)度∶ 400mm

恒溫區(qū)∶200mn(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)注∶由于則量手段及外部環(huán)境的影響,則里結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員

兩個(gè)溫區(qū)溫差為∶400℃爐管材料∶高純石英管

石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需電源∶208-240VAC單相

功率∶4KW

等離子射頻發(fā)生器

輸出功率∶ 5 -500W可調(diào)穩(wěn)定性為∶ +/-1%

射頻電源頻率∶1356MH, 穩(wěn)定性=0.005%

反向功率∶200W

射頻電源電子輸出口∶50ΩN型半導(dǎo)體.

陰極噪音∶<50 dB.

冷卻方式∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC,50/60Hz

預(yù)熱爐

一款小型單溫區(qū)管式爐,加熱區(qū)為200mm

溫度∶ 1100℃

可設(shè)置30段升降溫程序控溫儀表操作視頻

氣體通過等離子射頻電源前,先通過預(yù)熱爐

也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中,氣化后與氣體原料相混合

防腐型數(shù)顯真空計(jì)
測(cè)量范圍3.8x10->至 1125 Torr
當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),可獨(dú)立測(cè)量各種氣體,不必做校正(包括混合氣體)對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的準(zhǔn)確度和重復(fù)性信號(hào)響應(yīng)時(shí)間較短(S30ms)
因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉?,所以具有較好的抗腐蝕性
真空泵和閥

可以從本公司選購以下幾種真空泵

如您想獲得更高的真空度(<10-》tor orbeter)可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件

電動(dòng)滑軌可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端,將爐體署動(dòng),以達(dá)到快速升溫和快速障溫的效果骨動(dòng)速度∶ 0-70 mm/s(可調(diào))
升溫和降溫速率

FS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi),將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中(儀器中不包含,客戶需額外出費(fèi)用 在本公司購買)

為了獲得的升溫速率,可將爐體升溫到設(shè)定溫度,然后將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率

冷卻速率

15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C)

10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C);

7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C);

23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C);

1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃);

1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C);

0.5℃C/sec (400℃-300℃);

0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C);

可選可以選購2-4通道質(zhì)子流里計(jì)混氣系統(tǒng)
外形尺寸

爐體∶550x380x 520 mm

滑軌長(zhǎng)度∶ 1750 mm

凈重 220 Lbs.
質(zhì)保期一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括爐管、密封圈和加熱元件)
質(zhì)量認(rèn)證 CE Certified
使用注意事項(xiàng)
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購喊壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加安全
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<、1100°℃C
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于002MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

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