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南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>CVD/PECVD/ALD系統(tǒng)>> OTF-1200X-PESDFG-5雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)、循環(huán)手套

雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)、循環(huán)手套

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 OTF-1200X-PESDFG-5
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 南京市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2021-03-30 09:18:24瀏覽次數(shù):355

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),并目連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在室驗(yàn)中對樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新—代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

詳細(xì)介紹

爐體結(jié)構(gòu)

兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面,和通過對爐體的滑動(dòng)達(dá)到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果

連續(xù)工作溫度∶1100℃ 

兩個(gè)爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序

等離子體射頻電源

輸出頻率∶13.56 MHz ±0.005% 

射頻頂值功率∶ 500W

匹配∶ 自動(dòng)匹配

噪音∶<50 dB.

冷卻∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統(tǒng)

采用vRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr 

KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連

管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)

四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5%)∶ 數(shù)字顯示,自動(dòng)控制. 

MFC1范圍∶ 0~100 sccm

MFC2和3∶ 0~200 sccm 

MFC4范圍∶ 0~500 sccm

一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口. 

4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體.

進(jìn)氣口∶4個(gè)1/4NPS.

出氣口∶4個(gè) 1/4NPps. 

采用PLc控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制

可選購氣液混合裝置,用于cvD系統(tǒng)

爐管&密封法蘭

高純石英管,尺寸50毫米 O.D x  44毫米 I.D  x  1800 毫米 L

配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計(jì)

防腐型真空計(jì)

輸入電源 24v,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)

測量范圍 3.8x10-5 --1125 Torr. 

數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

接頭 KF16 接頭 

產(chǎn)品尺寸46mm×28mm×126mm(長x寬x高)

循環(huán)手套箱

手套箱尺寸∶ 780mm(L)x700mm(W)×650mm(H)

帶有除水系統(tǒng)∶保持水含量<2 ppm 

-真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接

質(zhì)保期一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈)
質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

所有電器元件(輸入電話員<24V)都通過連UL/MET/CSA認(rèn)證

 

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