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目錄:青島天仁微納科技有限責任公司>>納米壓印設(shè)備>> GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備

GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備
  • GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 天仁微納
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 青島市
屬性

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更新時間:2025-02-20 14:50:25瀏覽次數(shù):692評價

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GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備產(chǎn)能可大于40片每小時,適合DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)(包括斜齒光柵)、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)。

GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備主要功能

● 全自動150/300mm大面積、高精度、高深寬比納米壓印生產(chǎn)線

●CLIV技術(shù),確保壓印結(jié)構(gòu)精度與結(jié)構(gòu)填充完整性

●Cassette to cassette自動上下片,光學巡邊預(yù)對位

●設(shè)備內(nèi)自動復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,同時支持自動更換工作模具,適合連續(xù)生產(chǎn)

●自動對位、自動壓印、自動曝光固化、自動脫模,工藝過程在密閉潔凈環(huán)境中自動進行,以保證壓印質(zhì)量

●標配高功率紫外LED面光源(365nm,光強>1000mW/cm2 ),水冷冷卻,特殊功率以及特殊、混合波長光源可訂制,支持各種商用納米壓印材料

●產(chǎn)能可大于40片每小時,適合DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)(包括斜齒光柵)、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)

●隨機提供全套納米壓印工藝與材料,包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)等工藝流程,幫助客戶零門檻達到國際的納米壓印水平

設(shè)備照片

GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備相關(guān)參數(shù)

兼容基底尺寸 GL150 CLIV:2inch、3inch、100mm、150mm
GL300 CLIV:200mm、300mm
特殊尺寸可定制
支持基底材料 硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
上下片方式 Cassette to cassette全自動上下片
晶圓預(yù)對位 光學巡邊預(yù)對位
納米壓印技術(shù) CLIV技術(shù),適合高精度、高深寬比納米結(jié)構(gòu)壓印
壓印精度 優(yōu)于10納米*
結(jié)構(gòu)深寬比 優(yōu)于10比1*
殘余層控制 可小于10nm*
紫外固化光源 紫外LED(365nm)面光源,光強>1000mW/cm2,水冷冷卻(2000mW/cm2類型光源可選配)
設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制 標配,外部環(huán)境Class 100,內(nèi)部環(huán)境可達Class 10*
自動壓印 支持
自動脫模 支持
自動工作模具復(fù)制 支持
自動工作模具更換 支持
模具基底對位功能 自動對位(選配)
產(chǎn)能 可大于40片每小時*

 

 

 

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