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目錄:青島天仁微納科技有限責任公司>>納米壓印設(shè)備>> GL4 R D研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備

GL4 R D研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備
  • GL4 R D研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 天仁微納
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 青島市
屬性

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更新時間:2025-02-20 15:01:20瀏覽次數(shù):728評價

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GL4 R D研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備是一種專門為大學、科研院所和企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)所設(shè)計,功能強大的多功能研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備。通過簡單的夾具更換,可以實現(xiàn)旋涂壓印膠高精度納米結(jié)構(gòu)壓印和點膠大矢高結(jié)構(gòu)自動找平壓印模式之間的快速切換。

GL4 R D研發(fā)型多功能納米壓印光刻設(shè)備是一種專門為大學、科研院所和企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)所設(shè)計,功能強大的多功能研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備。通過簡單的夾具更換,可以實現(xiàn)旋涂壓印膠高精度納米結(jié)構(gòu)壓印和點膠大矢高結(jié)構(gòu)自動找平壓印模式之間的快速切換。

GL4 R D研發(fā)型多功能納米壓印光刻設(shè)備是一種專門為大學、科研院所和企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)所設(shè)計,功能強大的多功能研發(fā)型納米壓印光刻設(shè)備。通過簡單的夾具更換,可以實現(xiàn)旋涂壓印膠高精度納米結(jié)構(gòu)壓印和點膠大矢高結(jié)構(gòu)自動找平壓印模式之間的快速切換。可實現(xiàn)直徑100mm以下基底面積上高精度(優(yōu)于10nm * )、高深寬比(優(yōu)于10比1 * )以及微透鏡陣列等微納結(jié)構(gòu)壓印,適合用作紫外納米壓印光刻工藝開發(fā),器件原型快速驗證,納米壓印材料測試等研發(fā)。它沿用天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備的工藝與材料體系,在GL4 R&D上開發(fā)的工藝可以無障礙轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)設(shè)備上進行生產(chǎn)。

GL4 R&D納米壓印設(shè)備適用于DOE、AR/VR衍射光波導(包括斜齒光柵)、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列、勻光片等應用領(lǐng)域的研發(fā)。

  • 主要功能

●沿用天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備的工藝與材料體系,開發(fā)的工藝可以無障礙轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)設(shè)備上進行生產(chǎn)
●可實現(xiàn)旋涂膠基底壓印和點膠自動找平壓印模式間快速切換
●壓印面積Φ100mm
●設(shè)備內(nèi)可自動復制柔性復合工作模具
●壓印旋涂膠基底模式可實現(xiàn)自動壓印、自動曝光固化、自動脫模
●點膠壓印模式可實現(xiàn)自動找平,實現(xiàn)微米級TTV控制,內(nèi)置自動點膠功能
●標配高功率紫外LED面光源(365nm,光強>300mW/cm2 ),支持各種納米壓印材料

●可選配模具基底對位系統(tǒng)

●隨機提供全套納米壓印工藝與材料,包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)、微透鏡陣列、勻光片結(jié)構(gòu)等工藝流程,幫助客戶零門檻達到國際的納米壓印水平

設(shè)備照片

相關(guān)參數(shù)

兼容基底尺寸 直徑≤100mm    
支持基底材料 硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等    
納米壓印技術(shù)

旋涂膠基底高精度壓印&點膠自動找平壓印

旋涂膠基底壓印模式              點膠自動找平壓印模式

   
壓印精度 優(yōu)于10納米*    
結(jié)構(gòu)深寬比 優(yōu)于10比1*    
殘余層控制 可小于10nm*                    微米級TTV控制精度    
紫外固化光源 紫外LED(365nm)面光源,光強>300mW/cm2    
自動壓印

支持

支持

   
自動脫模

支持

   
自動工作模具復制

支持

   
主動找平壓印

-

支持

   

模自動點膠

支持

模具基底對位系統(tǒng)

手動對位(選配)

上下片方式 手動上下片    

 

 

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