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九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
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渦流法硅片方阻電阻率
  • 渦流法硅片方阻電阻率
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更新時(shí)間:2024-10-17 10:49:18

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晶圓電阻率測(cè)試儀,硅片電阻率測(cè)試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率(霍爾)測(cè)試儀,少子壽命測(cè)試儀,測(cè)試硅片等材料。

專注于非接觸式半導(dǎo)體計(jì)量分析技術(shù)的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn) ,攻克被國(guó)外卡脖子技術(shù)。

       產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研以及平板材料測(cè)試領(lǐng)域。借助公司*計(jì)量分析測(cè)試技術(shù),為晶圓、碳化硅、硅片、封裝測(cè)試等生產(chǎn)和品質(zhì)監(jiān)控,提供一整套完整測(cè)試和解決方案。

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一、

晶圓電阻率測(cè)試儀

硅片方阻測(cè)試儀

渦流法電阻率分析儀

晶錠電阻率分析儀

少子壽命

參數(shù)

方阻

電阻率(厚度180um)

方法

探頭量程

1-600Ω/¨

0.018-10.8 Ω?cm

渦流法

探頭性能

動(dòng)態(tài)重復(fù)性

靜態(tài)重復(fù)性

示值誤差

1-80Ω/¨0.018 - 1.44Ω?cm < 0.2%

<0.01%

±1%

80-120Ω/¨1.44 - 2.16Ω?cm < 0.3%

120-300Ω/¨2.16 - 5.4Ω?cm < 0.5%

300-600Ω/¨5.4 - 10.8Ω?cm< 1%

外形尺寸

上探頭Ф20*145mm

下探頭Ф20*50mm

信號(hào)采集

采樣率:1500Sps

采樣個(gè)數(shù):512點(diǎn)/單次

采樣緩存:8級(jí)數(shù)據(jù)記錄緩存

數(shù)據(jù)傳輸:RS232 RS485CANTCP/IP

傳輸協(xié)議:Modbus Rtu/ Modbus Tcp 用戶自定義協(xié)議等

供電電源

24V/1A





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