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電化學(xué)ECV在太陽能光伏行業(yè)的應(yīng)用非常普及,是光伏行業(yè)電池技術(shù)研究和發(fā)展的必要工具之一。
1. ECV又名擴散濃度測試儀,結(jié)深測試儀等,即電化學(xué)CV法測擴散后的載流子濃度分布(見圖);
2. 相比其他方法如SRP,SIMS等,ECV具有測量使用方便,價格低的優(yōu)點;
技術(shù)指標(biāo):載流子濃度測量范圍:1021/cm3,最小1011/cm3;深度解析度:無上限,最小可至1nm。主要功能:使用電化學(xué)電容-電壓法測量半導(dǎo)電材料的摻雜濃度分布。ECV又名擴散濃度測試儀,結(jié)深測試儀等,即電化學(xué)CV法測擴散后的載流子濃度分布。電化學(xué)ECV可以用于太陽能電池、LED等產(chǎn)業(yè),是化合物半導(dǎo)體材料研究或開發(fā)的主要工具之一。電化學(xué)ECV主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開發(fā),其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來測量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布。電化學(xué)ECV(CV-Profiler, C-V Profiler)也是分析或發(fā)展半導(dǎo)體光-電化學(xué)濕法蝕刻(PEC Etch
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