目錄:南京芯測(cè)軟件技術(shù)有限公司>>失效分析設(shè)備>>封裝工藝檢測(cè)設(shè)備>> 德國(guó)進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
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更新時(shí)間：2024-11-07 12:21:41瀏覽次數(shù)：1260評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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檢查大尺寸樣品–滿足自動(dòng)化潔凈室的要求
高性能、高性價(jià)比 | 可靠的結(jié)果 | 數(shù)字集成 |
它具有優(yōu)異的可用性和先進(jìn)的自動(dòng)化功能，是要求日常任務(wù)的理想選擇。相比起更先進(jìn)的光學(xué)顯微鏡，它兼顧強(qiáng)大的性能與經(jīng)濟(jì)的價(jià)格。 | 使用帶編碼的組件和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)，Axioscope 提供可靠的，可再現(xiàn)的結(jié)果。此外，自動(dòng)化的Axioscope7 能夠使您的工作流程*自動(dòng)化-所以它能很快成為實(shí)驗(yàn)室的得力助手。 | 靠著Axiocam系列相機(jī)和ZEN 2 core成像系統(tǒng)，Axioscope成為一個(gè)強(qiáng)大的數(shù)字文檔系統(tǒng)。從設(shè)備控制-到圖像采集、分析以及儲(chǔ)存您的分析數(shù)據(jù)，Axioscope提供了一個(gè)*數(shù)字化的工作流程。 |
一、德國(guó)進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的應(yīng)用：
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測(cè)期間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測(cè)試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至理想的聚焦位置。
二、德國(guó)進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的特點(diǎn)：
（1）具有兩種手動(dòng)機(jī)柱和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢(shì)。
（2）Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
（3）借助硬件自動(dòng)對(duì)焦功能，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
（4）將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品。
（5）Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。
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