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當(dāng)前位置：江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>遠(yuǎn)程等離子源（RPS）>>AE Rapid Series
AE Rapid OE RPS 遠(yuǎn)程等離子體源是適用于氧氣類過程的遠(yuǎn)程等離子體源，內(nèi)部采用可拆卸石英內(nèi)襯，可減少復(fù)合效應(yīng)，延長氧自由基的壽命。
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