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當(dāng)前位置:江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>遠(yuǎn)程等離子源(RPS)>>MKS ASTRON Series
MKS ASTRON2L RPS 半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子源是在半導(dǎo)體產(chǎn)線沉積和蝕刻室清潔工藝中的發(fā)揮關(guān)鍵作用的子組件,可以消除工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命...
MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 ASTRON hf-s 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件,消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命,并減少薄膜污...
MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件,消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命,并減少薄膜污染的...
MKS Revolution RPS AX7690 遠(yuǎn)程等離子源是一款能為半導(dǎo)體芯片加工提供所需的高性能和清潔的活性氣體源的集成式遠(yuǎn)程等離子體源。
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