AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性和優(yōu)良性能的射頻電源，在實際運行中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力。該款射頻電源主要采用了緊湊的外觀設計，整體小巧便捷，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。AE RFG系列射頻電源具有良好的成膜能力，能夠快速成膜，被廣泛的應用在半導體制程的薄膜工藝中，CVD、PVD、PECVD、濺射、蝕刻均有應用。RFG 2000-2V，加上它相關(guān)的固定匹配網(wǎng)絡(MFA)，是一種傳統(tǒng)的AE 13.56 MHz射頻發(fā)生器，具有定制的腔室安裝和緊密的機械包絡。

AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW參數(shù)規(guī)格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：RFG 2000-2V                                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A

RF 射頻輸出：3000W，13.56MHz

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX進水水壓6.9 Bars/69kPa