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江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
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當(dāng)前位置:江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>射頻電源(RF)>>AE RFG Series>> AE RFG 3001AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW

AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)AE RFG 3001

品       牌Advanced Energy/優(yōu)儀

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地揚(yáng)州市

更新時(shí)間:2024-06-02 15:35:54瀏覽次數(shù):952次

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供貨周期 現(xiàn)貨 貨號(hào) 3155089-005
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
品牌 AE 型號(hào) RFG?3001
M/N 3155089-005 P/N 1914590
頻率 13.56MHz 輸出功率 3KW
設(shè)備狀態(tài) Refurbished
AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF generator是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中。

AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制,在半導(dǎo)體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn)。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力,成膜速度快,效率高,在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用,能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計(jì),小巧便捷,能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌:AE(Advanced Energy)

設(shè)備型號(hào):RFG 3001                                                                                    

AC 電源輸入:3 phase~ ,~208V/PE,50/60Hz

RF 射頻輸出:13.56MHz,3000W,387V~

通訊接口:Control,CEX

設(shè)備散熱:水冷散熱

水冷進(jìn)水需求:MAX 進(jìn)水壓力 6.9Bar/690kPa


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