供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
貨號(hào) |
3155089-005 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
AE |
型號(hào) |
RFG?3001 |
M/N |
3155089-005 |
P/N |
1914590 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
3KW |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurbished |
AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF generator是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中。
AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制,在半導(dǎo)體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn)。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力,成膜速度快,效率高,在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用,能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計(jì),小巧便捷,能夠降低客戶的使用成本。
AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌:AE(Advanced Energy)
設(shè)備型號(hào):RFG 3001
AC 電源輸入:3 phase~ ,~208V/PE,50/60Hz
RF 射頻輸出:13.56MHz,3000W,387V~
通訊接口:Control,CEX
設(shè)備散熱:水冷散熱
水冷進(jìn)水需求:MAX 進(jìn)水壓力 6.9Bar/690kPa