自動(dòng)表面分析和多功能的 X 射線光電子能譜儀

Thermo Scientific Nexsa G2 X 射線光電子能譜儀(XPS)系統(tǒng)可進(jìn)行全自動(dòng)、高通量的表面分析，提供用于推進(jìn)研發(fā)或解決生產(chǎn)問題的數(shù)據(jù)。 集成 XPS 與離子散射譜(ISS)、紫外光電子能譜 (UPS)、反射電子能量損失譜(REELS)和拉曼光譜，讓您進(jìn)行真正的聯(lián)用分析。該系統(tǒng)現(xiàn)包含樣品加熱和樣品加偏壓功能選項(xiàng)，拓寬可進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)范圍。Nexsa G2 表面分析系統(tǒng)發(fā)掘了材料科學(xué)、微電子、納米技術(shù)開發(fā)和許多其他應(yīng)用領(lǐng)域的潛力。

Nexsa G2 表面分析系統(tǒng)主要特點(diǎn)

高性能   X 射線源

全新的低功率 X 射線單色器，允許以 5µm為間隔、選擇10µm 到 400µm 之間的分析面積，確保從感興趣的特征區(qū)域收集數(shù)據(jù)，同時(shí)使信號(hào)。

樣品視圖

使用Nexsa XPS 的光學(xué)觀察系統(tǒng)和 SnapMap 功能聚焦樣品特征區(qū)域，有助于快速定位感興趣的區(qū)域。

深度剖析

利用標(biāo)準(zhǔn)離子源或 MAGCIS（可選的雙模式單原子和氣體團(tuán)簇離子源）獲取表面之下的信息；離子源的自動(dòng)校準(zhǔn)和氣體團(tuán)簇的處理確保了的性能和實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性。

數(shù)碼控制

儀器控制、數(shù)據(jù)處理和報(bào)告均由基于 Windows 的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制。

優(yōu)異的電子光學(xué)系統(tǒng)

高效的電子透鏡、半球形分析器和檢測器使其具有的檢測能力和快速的數(shù)據(jù)采集能力。

絕緣樣品分析

雙束中和源：既能出射低能離子，又能出射低能電子(小于1 eV)。在測試中能夠?qū)悠?，特別是絕緣樣品，進(jìn)行很好的中和，令數(shù)據(jù)分析簡單而可靠。

NX 樣品加熱器模塊

全軟件控制的樣品加熱功能選項(xiàng)，支持溫度相關(guān)研究。