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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> MSD-150D-桌上型半自動(dòng)顯影機(jī)
MSD-150D用于對(duì)顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。
本司提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī)，更多功能如吹氣、背洗等請(qǐng)咨詢。
技術(shù)規(guī)格：
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
主體 | 外殼材質(zhì):SUS 處理樣品尺寸：6寸以內(nèi) 承盤:PTFE 馬達(dá): 轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M 搖臂：自動(dòng) 操作界面：7寸觸摸屏 |
顯影裝置 | 藥液裝置: 顯影 x1 DIW x1 N2、背洗、背部吹氣可選 |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng): PLC 使用接口：7寸觸屏 配方:手動(dòng)和自動(dòng)模式 編程 : 50 組 20 步 |
安全裝置 | 晶圓承盤真空滲液保護(hù): |
真空檢知: 數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù) 運(yùn)行結(jié)束報(bào)警提示 |
附件 | 真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1 |
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