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當前位置：> 供求商機> CGST3100-全自動干法去膠機
設(shè)備主體 | |
設(shè)備尺寸 | L1300×W1190×H1847mm |
設(shè)備重量 | 800Kg |
設(shè)備電源 | AC220V，3P,50/60Hz，5線，16A |
主機軟件 | Windows 10 |
主機通訊 | SECS/GEM |
主機硬盤 | 單/雙 |
工藝腔 | ICP，單腔 |
料盒類型 | 開放式（Open cassette） |
晶圓單次處理容量 | 一片 |
機械手 | 3軸（單/雙臂選配） |
機械手 | Mapping(選配） |
每小時出片量（WPH) | 35片/小時 (1分鐘標準配方) |
加熱盤 | 鋁合金，控溫：50-250℃ |
等離子發(fā)生系統(tǒng) | |
電源類型 | 射頻 |
電源功率 | 0~1000W |
電源頻率 | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 |
真空系統(tǒng) | |
工藝腔 | 鋁合金 |
腔門 | 門閥，氣動 |
真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
蝶閥 | 控壓精度：±50 mtorr |
真空管路開關(guān) | 角閥，氣動 |
真空泵 | 干泵：600m3/h |
真空計 | 0.001-10 Torr |
腔體真空開關(guān) | 750 Torr |
前級管道真空開關(guān) | 100 Torr |
氣體系統(tǒng) | |
工藝氣體系統(tǒng) | 氣柜，模塊化（GAS BOX) |
氣柜箱體材質(zhì) | 不銹鋼 |
氣柜排氣 | 負壓，酸排 |
氣柜配置 | 過濾器，手動閥，流量計，氣動閥，壓差計，調(diào)速閥，連鎖開關(guān) |
氣體路數(shù) | |
氣路1 | O2 5SLM |
氣路2 | N2 1SLM |
氣路3 | CF4 100SCCM |
氣路4 | 4%H2/N2 1SLM |
氣路5 | N2 慢/快速破真空 |
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