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產(chǎn)品應用：  

   MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機可實現(xiàn)一機多用，集成化程度更高，占地面積更小。廣泛應用于高校研究所實驗的光刻工藝，可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序。

工藝步驟：

涂膠（放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機（放片、烘烤、取片）→曝光（放片、曝光、取片）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、取片）→取片（轉(zhuǎn)移下道工序）。

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式，實時顯示設備運行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲、及調(diào)用工藝配方等。

技術(shù)參數(shù)：