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MC-7100CLINTEC 質(zhì)量流量控制器
參考價(jià): 25000
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • MC-7100C 產(chǎn)品型號(hào)
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):70更新時(shí)間:2025-03-26 14:55:32

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
LINTEC 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹

LINTEC 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C


LINTEC 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C

質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制,故不受溫度及壓力的影響,可精準(zhǔn)地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進(jìn)行流量的控制。

質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的,Ru、Rd與 R 保持一定的溫度,當(dāng)氣體流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,造成溫度下降,為維持原本與比的溫差,回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 超高速流量控制200msec

  • 精度±1%S.P.

  • 使用溫度5~50℃

  • 金屬密封材

  • 無塵(粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控)

  • 周圍溫度補(bǔ)償傳感器

  • 支持EtherCAT通訊方式

  • 支持DeviceNet™通訊方式

品規(guī)格表


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最大F.S.密封材
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM20SLMAu


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