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高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
中級會(huì)員·1年
MC-5100CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25040 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MC-5100C 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：59更新時(shí)間：2025-03-26 15:01:32
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7200D
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7200D
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的，Ru、Rd與 R 保持一定的溫度，當(dāng)氣體流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對Ru及Rd進(jìn)行加溫。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動(dòng)裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計(jì)，可以增強(qiáng)氣體的流通，降低污染物影響，使設(shè)備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。
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