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MC-5250CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
參考價: 25060
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • MC-5250C 產(chǎn)品型號
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):67更新時間:2025-03-26 15:05:08

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進口 應用領域 綜合
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5250C
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5250C


LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5250C

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件,MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。

質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的,Ru、Rd與 R 保持一定的溫度,當氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,造成溫度下降,為維持原本與比的溫差,回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。

溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍F.S.馬克斯 FS密封
15~35°C50kPa300kPa±1%S.P.2~100%滿量程10單片機CM300 升

氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設計,可以增強氣體的流通,降低污染物影響,使設備具備高澄換性,保證更長的使用壽命,也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。



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