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產(chǎn)品特點(diǎn)1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的TFE電子槍2.出色的電子束偏轉(zhuǎn)控制技術(shù)3.采用場(chǎng)尺寸調(diào)制技術(shù)，電子束定位分辨率（address size）可達(dá)0.0012n...

高性能電子束曝光機(jī)是一款高性能的納米光刻系統(tǒng)，擁有完整200mm尺寸的光刻能力，這款電子束光刻系統(tǒng)代表了不斷進(jìn)化的高度成功和廣為市場(chǎng)接受的EBPG系列產(chǎn)品。

EBPG5150使用了155mm大小的樣品臺(tái)，采用跟電子束曝光機(jī)EBPG5200一樣的通用光刻平臺(tái)設(shè)計(jì)，

PIONEER Two將專(zhuān)業(yè)電子束曝光設(shè)備和電子成像系統(tǒng)所有的先進(jìn)性能，融合成一套獨(dú)立的成套系統(tǒng)。多功能性、穩(wěn)定性、用戶友好性操作，使PIONEER Two系統(tǒng)...

探索超越電子束曝光功能的納米工程系統(tǒng)超高分辨電子束曝光、成像及納米工程系統(tǒng)納米加工領(lǐng)域的瑞士

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是的方法之一。先進(jìn)納米科技提供;的電子束納米光刻（EBL）系統(tǒng)，或稱(chēng)電子束直寫(xiě)（E...

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)先進(jìn)納米科技提供的電子束納米光刻（E...

電子束光刻系統(tǒng)特點(diǎn)1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的TFE電子槍2.出色的電子束偏轉(zhuǎn)控制技術(shù)3.采用場(chǎng)尺寸調(diào)制技術(shù)，電子束定位分辨率（address size）可達(dá)0....

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作的方法之一。

多用途的納米光刻系統(tǒng)eLINE Plus被廣泛用于大學(xué)和研究中心，該系統(tǒng)有很多多功能附件可供用戶選擇，滿足用戶對(duì)電子束光刻機(jī)多功能性的要求。除具有專(zhuān)業(yè)的電子束光...

PIONEERTM集成了電子束曝光及成像分析雙功能，是高校和科研人員的理想選擇。從理念上，PIONEERTwo是一個(gè)全新的*的設(shè)備，真正意義上實(shí)現(xiàn)了電子束曝光和...

shi jie*個(gè)*集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3，提供了超高離子束束流（zui高束流為2µA），其濺射速度比Ga離子源...