微流控-紫外納米壓印設(shè)備EVG600系列簡介

EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和中國臺灣設(shè)有分公司，并在其他各地設(shè)有銷售代理及售后服務(wù)部，產(chǎn)品和服務(wù)遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導(dǎo)體制造設(shè)備的供應(yīng)商，其豐富的產(chǎn)品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機(jī)/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機(jī)、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時(shí)鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。

目前已有數(shù)千臺設(shè)備安裝在世界各地，被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導(dǎo)體器件和功率器件等ling 域。

EVG是世界上為數(shù)不多的可以商業(yè)化納米壓印設(shè)備的著ming公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案，包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其專li的極其優(yōu)異的對準(zhǔn)技術(shù)和世界ling 先的熱壓技術(shù)為納米壓印的成功實(shí)施打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

EVG620紫外納米壓印用于從印章到襯底的紫外圖形轉(zhuǎn)移。EVG620自動納米壓印系統(tǒng)允許襯底和印章的尺寸從很小的芯片到150mm直徑的圓片范圍。用于納米技術(shù)應(yīng)用的配置包括印章機(jī)械釋放、程序控制高或低的接觸壓力。EVG*的吸盤設(shè)計(jì)支持軟印章和硬印章壓印，可以保證大面積納米壓印的均勻壓力，從而保證獲得很高的良率。

微流控-紫外納米壓印設(shè)備應(yīng)用范圍

納米壓印技術(shù)主要應(yīng)用于如下方面

LEDS 制作，LED PSS納米壓印工藝，LED納米透鏡陣列；微流體學(xué)；芯片實(shí)驗(yàn)室；抗反射層； 納米壓印光柵； 蓮花效應(yīng)；光子帶隙；光學(xué)及通訊：光晶體，激光器件；生物技術(shù)解決方案：醫(yī)藥分析，血液分析，細(xì)胞生長。

主要特點(diǎn)

1. 適用于紫外納米壓印和微接觸印刷；

2. 紫外光曝光；

3. 配備的紫外納米壓印工具；

4. 適于軟或硬印章壓??；

5. 適用襯底：Si，玻璃，化合物半導(dǎo)體。