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美國MARCH AP-600等離子系統(tǒng)

——緊湊型、桌面式等離子處理設(shè)備

AP-600是特別設(shè)計(jì)的均勻清洗和處理的等離子設(shè)備，具有易操作性強(qiáng)、可靠性高、低成本的優(yōu)點(diǎn)。AP-600是*獨(dú)立的系統(tǒng)，需要很小的空間。等離子腔體、控制設(shè)備、13.56MHz的等離子發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)都安裝在底盤上，一個連鎖的門和面板提供了維護(hù)通道。等離子腔體由耐用的高品質(zhì)鋁做成的，并且?guī)в袖X支架。腔體里有多達(dá)7個可移動的、可調(diào)整的電源極或接地極支架，以適應(yīng)更款范圍的器件、組件或工裝（盒、盤或舟）。

清洗、表面活化、改善粘性

AP-600系統(tǒng)適合多種多樣的等離子清洗、表面活化和改善粘性等應(yīng)用，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體器件制造、微電子封裝和組裝、醫(yī)療設(shè)備器件和生命科學(xué)器件的制造等。AP-600適合多種工藝氣體，例如Ar、O₂、H₂、He及氟化合物氣體，通過2個（標(biāo)準(zhǔn)配置）氣體質(zhì)量流量控制器控制氣體的標(biāo)準(zhǔn)，系統(tǒng)還可以選配2個氣體質(zhì)量流量控制器來提高系統(tǒng)的控制性能。

半導(dǎo)體和微電子應(yīng)用舉例：

粘片前進(jìn)行處理，提高芯片附著力；

鍵合前進(jìn)行處理，提高鍵合強(qiáng)度；

塑模和封裝前進(jìn)行處理，減少封裝分層；

倒裝片采用底部填充工藝前進(jìn)行處理，可以提高填充速度、減少空洞率、增加填充高度及*性、增加填充物的附著力。

AP-600性能：

觸摸屏控制及圖形用戶界面，提供實(shí)時過程顯示；

靈活的支架，具有適應(yīng)多種器件、組件及工裝的能力；

帶有自動匹配網(wǎng)絡(luò)的13.56MHz的RF發(fā)生器，保證設(shè)備優(yōu)異過程*性；

設(shè)備滿足簡便的定期校準(zhǔn)需要。

主要參數(shù)