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多功能電子束曝光系統(tǒng)
探索超越電子束曝光功能的納米工程系統(tǒng)
超高分辨電子束曝光、成像及納米工程系統(tǒng)
eLINE Plus被廣泛用于大學和研究中心,該系統(tǒng)有很多多功能附件可供用戶選擇,滿足用戶對電子束光刻機多功能性的要求。
除具有專業(yè)的電子束光刻及成像功能,eLINE Plus還*集成了納米操縱設備,如納米探針、用于聚焦電子束誘導過程的氣體注入系統(tǒng)等各種多功能選件,這使得eLINE Plus成為世界上*的、用途廣泛的電子束光刻系統(tǒng)。
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