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北京亞科晨旭科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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AFM-ScanAsyst-fluid-智能掃描模式:ScanAsyst-fluid系列
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更新時(shí)間:2024-09-26 14:08:56

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智能掃描模式:Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

  常用探針型號(hào)介紹

1. 輕敲模式,RTESPA-300,TESP,F(xiàn)ESP

2. 接觸模式,SNL,NP,

3. 智能掃描模式:Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力顯微鏡,MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 靜電力顯微鏡,導(dǎo)電AFM,等電學(xué)測(cè)量模式,DDESP,SCM-PIT,SCM-PIC等。

6.  其他特殊功能探針。如金剛石探針,大長徑比探針。

 

 

 

指標(biāo):

探針的指標(biāo)主要分三個(gè)部分,分別對(duì)應(yīng)了基片,微懸臂梁,和針尖三個(gè)部分。

1. 基片,就是基片的長,寬,高,各種探針的基片尺寸是基本一致的。

2. 懸臂梁,分為矩形梁和三角形懸臂梁,他們的長寬厚的幾何尺寸決定了懸臂梁的彈性系數(shù)和共振頻率。而彈性常數(shù)K是探針的很重要的一個(gè)參數(shù),一般來說,接觸模式的探針的彈性常數(shù)小于1N/m。輕敲模式的探針的懸臂梁彈性系數(shù)從幾個(gè)N/m到幾十個(gè)N/m。常用的RTESP的彈性常數(shù)是40N/m。

3. 針尖,針尖的的幾何形狀是一個(gè)四面體。指標(biāo)主要有,曲率半徑(Tip Radius),探針高度(Tip Height),對(duì)應(yīng)于四面體的指標(biāo),前角(Front Angel),后角(Back Angel),側(cè)角(Side Angel),還有一個(gè)是Tip Set Back,對(duì)應(yīng)的是針尖離懸臂梁末端的水平距離。

材質(zhì):

1. 輕敲探針:一般是單晶硅,型號(hào)如RTESP;

2. 接觸模式探針:材質(zhì)是SiN,而新型號(hào)的SNL接觸探針,懸臂梁是SiN,而針尖則Si(曲率半徑2nm左右),這種探針可以提供接觸模式下的分辨率圖;

3. 功能探針:如磁力探針(MESP),導(dǎo)電探針,則是在普通的硅探針的基礎(chǔ)上再鍍上相應(yīng)的材料。MESP的鍍層是Co/Cr,SCM-PIT的鍍層是Pt。

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